한국기계연구원 지능형 생산시스템연구본부 박천홍 박사팀이 세크론㈜과 공동으로 300㎜ 웨이퍼 고정밀도 반도체 검사장비(프로브 스테이션ㆍProbe station) 상용화에 성공했다.

연구팀이 개발한 웨이퍼 프로브 스테이션은 접촉정밀도가 1마이크로미터(㎛ㆍ100만분의1m) 수준으로 300㎜ 웨이퍼를 한 번에 검사할 수 있다. 이 장비는 반도체칩 안의 패드에 바늘을 접촉시킨 뒤 전기적 신호를 통해 칩의 불량 여부를 검사한다. 최근 반도체 업계에서는 칩 안의 패드 사이 간격이 갈수록 좁아져 검사 바늘과 패드 간의 접촉정밀도 향상이 과제로 부각되고 있다.

연구팀은 장비 개발로 일본 업체들이 80% 이상 독점하고 있는 국내시장에서 연간 300억원 이상의 수입대체 효과를 거두고 대규모 수출도 가능할 것으로 기대하고 있다. 박 박사는 "고정밀ㆍ고강성 반도체칩 검사장비 원천기술을 확보함에 따라 향후 신모델 개발 시 선진국에 대해 기술경쟁력 우위를 유지할 수 있을 것으로 보인다"고 말했다.

한편 세크론은 삼성전자의 양산 검증에서 선진국 장비와 비슷하거나 낫다는 평가를 받았으며 수주액을 포함해 연간 140억원의 매출을 달성했다고 밝혔다. 전세계 웨이퍼 프로브 스테이션 시장은 8,300억원, 국내시장은 850억원 규모다.

최인철 기자 michel@sed.co.kr

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